是否进口:否 | 产地:以色列 | 品牌:CAMTEK |
型号:Eagle-I | 尺寸:3000*2600 | 类型:检测 |
适用范围:大量产的2D检测适用于部分前道工艺: ?电镀bump前后检测; ?电测针印大小的检测; ?OQC检测 | 重量:400 | 加工定制:是 |
规格:2 |
GANNET:
A、亚微米级别(0.3um)的检测精度;
B、主要应用方向(front-end inspection):光刻,刻蚀,注入,CMP,OQC,TSV(加选件)
CONDOR 100(高速度,高精度,对应FALCON 500):
A、主要应用方向:探针压痕,特征尺寸,放置位置测量,墨点识别,***全检或者抽检;
B、2D检测的精度:0.2um,测量最小尺寸:10um(直径,宽度,长度,位置偏差);
3D高度精度(CCS):0.1um,测量范围:2-100um;
CONDOR 200(特殊晶圆检测,对应FALCON600):
A、主要检测对象:发光二极管,MEMS,光学器件,薄晶圆,有穿孔,透明/半透明晶圆等,主要是晶圆切割前后;
B、检测晶圆表面缺陷,测试标记,玻璃和MEMS的结构,切割损伤等;
C、2D检测:检测精度0.2um,最小检测尺寸:10um;
3D检测:高度精度0.1um,检测范围2-100um(CCS);高度精度0.3um,检测范围7-450um;
CONDOR 300(对应FALCON800):
A、主要检测:表面缺陷,探针压痕,特征尺寸,位置精度,墨点标识,锡焊,金,无铅,铜凸点等
B、2D检测:精度0.2um,最小尺寸:10um;
3D检测:高度精度0.1um,检测范围2-100um(CCS);高度精度0.3um,检测范围7-450um;